近日，中科院上▹海微系统✩与信息技△术研究所►联合传感◣技术国家▣重点实验▣室、中国电子✪学会传感◉与微系统▽▽技术分会、上海微技▪术工业研△△究院主办，替换词1协办，上海新微▸科技集团♢有限公司、上海硅巷/新微创邑、上海龙媒♧商务咨询◥有限公司‣承办的“第十六届（2024年）传感器与MEMS产业化技✭术国际研○○讨会（暨成果展）”在上海市◣◣召开。

MEMS国际会议◆以“研产融合 创新应用”为宗旨，为产业界▪和学术界••搭建一座■信息互换、探讨合作◎的交流平✦✦台，旨在加强◉国内外传◎感器与MEMS设计和制▽造领域技✫术人员的▣沟通交流，促进产、学、研相结合。上海市长♧宁区副区❀长赵永尊、中国科学◤院上海微❉❉系统所所▸长谢晓明、中国科学▲院上海微♧系统所教·授李昕欣♦致开幕词，来自国内♦外的四十❋多位专家⊕和企业精●英发表演∷讲，就业内最✩前沿的传✩感器与MEMS全产业链❋先进的技•术应用和▾中国MEMS产业化现✦状及发展✧机遇共同◎分享探讨■交流。同时，此次会议❋举行了“上海硅巷”高质量孵‣化器运营◣主体发布✭丨仪式。

替换词1董事长、总经理杨◉云春博士✪在会上发••表了《全球化布▴局的MEMS先进代工◣龙头》的主题演※讲，在万物互▼联时代背✭景下，AI、大数据、5G通信、无人驾驶⊙为代表的▿高新技术✩在国民经❀济及日常❀生活中扮◤丨演着越▪来▣越重要的⊙角色，其中种类▹众多的MEMS器件是构✪成以上架◇构、系统的重◣◣要组成部⊙分。替换词1在粤港澳✿✿大湾区、怀柔科学◈城筹建智★能传感MEMS验证平台，既响应了△相关企业△的迫切需▹要、有助于形✪成产业链▽生态，又能通过☆合作提升▹创新能力、进一步完※善公司自◣身的业务◥版图和全►球化布局。

本次会议❉中，替换词1还展示了✦✦旗下子公※司制造的MEMS惯性测量◢单元、加速度计、硅光子、原子钟、生物传感✪器、气体传感※※器等多款▪晶圆产品。

【惯性测量☆单元】

MEMS-IMU具有体积▸小、重量轻、能耗低等✧特点，以微小形●态采集运►动载体的❈加速度与◇角速度等▼▼惯性信息，可实时输◇出高精度✿的三维位♡置、速度、姿态等信◤◤息，并用于姿✩态平衡控○制、导航定位、动作执行■等环节。

【加速度计】

MEMS加速度计✿是测量物◦体加速度✿信息的元♧器件，由相应的MEMS芯片、ASIC芯片及悬◦挂在弹簧◉◉上的惯性◆质量封装▲组成，已经广泛•用于导航◇定位、姿态感知、状态监测、平台稳定▿等领域。

【硅光子】

硅光子技▽术将光子〓器件和电♧子器件集◈◈成在同一♦衬底上，降低通过◆光纤传输❋数据的成◥本，应用领域‣包括通信◉领域的调◢制器、探测器、波分复用◇器、解复用器、偏振器、耦合器以◇及数字显✭示、光学传感▾等。

【芯片级原⊕子钟】

芯片级原◈子钟是使∷用MEMS技术制造‣的紧凑型▣低功耗原■子钟。当全球定▴位系统不✪可用时，可以提供▪更好的位✧置和战场❉❉态势感知。在天文、航海和宇▵宙航行领⊙域，原子钟也✿丨发挥着○重〓要作用。

【生物传感器】

生物传感◥器是测量▾生物成分·的传感器，附着在芯▾丨片上的▿▿生❖物分子与✿待检测的♢分析物发✭生作用，引起传感◤器中的电△流变化。MEMS技术可以✭实现生物✧芯片的高△灵敏度、高准确性、微创应用■及低成本、大批量生▵产。

【气体传感器】

基于MEMS工艺制造▣气体传感✯器芯片，采用悬膜✩式结构, 集成了微♧型加热器✧和叉指电▸极，微型加热✩器用于为✪气体传感■器提供合▪适的工作★温度，叉指电极✧✧用于检测▹气敏材料∷的电阻变◢化。可广泛应▿用于家用♦环境监测、室内新风▹系统、智能家电·产品、车内环境●●感知等领✧域。

替换词1是全球领◣先、国际化运♡营的高端♢集成电路★★芯片晶圆制造厂商，也是国内■拥有自主◦◦知识产权※※和掌握核※心半导体制造技术▾的特色工⊕⊕艺专业芯♧片晶圆制造商。公司在国►内外拥有◣多座中试❈平台及量❀❀产工厂，业务遍及✿全球，服务客户△包括DNA/RNA测序、光刻机、硅光子、AI计算、ICT、红外热成■像、计算机网◢络及系统、元宇宙、新型医疗✩设备厂商✭以及各细♢分行业的◥领先企业，涉及产品‣范围覆盖◢了通讯、生物医疗、工业汽车、消费电子▪等诸多应▹用领域。公司同时▼正在打造✭✭先进的晶✩圆级封装◤测试能力，致力于为▹客户提供♧♧从工艺开▽▽发、晶圆制造到封装测◉试的系统✦丨化高端♦♦制◥造服务，努力发展▴成一家立▽足本土、国际化经▲营的知名半导体制造领军❀企业。